-
رقائق SOI عالية السرعة، عازل من السيليكون منخفض الطاقة للدوائر المتكاملة والأنظمة الكهروميكانيكية الصغيرةرقائق SOI، عبارة عن سيليكون على عازل حيث توجد طبقة رقيقة من السيليكون على ركيزة عازلة، تتيح التشغيل بسرعة عالية ومنخفضة الطاقة عن طريق تقليل السعة وتيار التسرب وتعزيز سرعات التبديل، والتي تم اعتمادها على نطاق واسع في الإلكترونيات الدقيقة والناشئة في مجال الضوئيات و ممس.