المرحلة الصلبة العادية تلبد
في الماضي ، كانت السيراميك مكلّبة عادةً في فرن نفط ثقيل ، بينما في الوقت الحاضر بشكل رئيسي في فرن كهربائي ، بما في ذلك فرن أنبوب ، فرن نوع عمودية ، فرن من نوع الصندوق ، الخ. وبيئة التلبد هي التي تقررها متطلبات الأداء للمنتج ، وأيضاً من الناحية الاقتصادية عامل. يمكن استخدام غاز التدريع ، مثل الهيدروجين ، الأرجون ، النيتروجين ، كما يمكن تلميعه في الفراغ أو حالة الجو فقط. بالنسبة لبعض منتجات الأكسيد ، خاصة سيراميك شبه موصل ، فإن جودة المنتج تكون حساسة جداً لتركيز الأكسجين لبيئة التلبيد.
من الصعب الحصول على سيراميك نقي متكلس ، لذلك إذا لم يؤثر على الأداء ، يتم إضافة بعض المساعدين للتلبيد لتقليل درجة حرارة التلبيد. على سبيل المثال ، عندما يتم إضافة اللبيدة Al2O3 ، بقعة Tio2 ، MgO ، MnO ، و MgO ، Y2O3 ، يمكن استخدام Al2O3 لتلبيد Si3N4 ، ويمكن خفض درجة الحرارة بشكل كبير. مقياس آخر فعال هو تقليل حجم جزيئات المسحوق ، لأن الحجم الأصغر ، طاقة الواجهة الأعلى ، مما يعني عملية تلبيد أسهل.
رد فعل تلبد ، RS 或 رد الفعل النطاقات ، RB
رد فعل تلبد
تلبد رد فعل Si3N4 هو وضع السيليكون المسامي المضغوط في بيئة N2 ، وتسخين 1400 ℃ وتشكيل Si3N4. نظرًا لأن هذا التفاعل هو تفاعل طارد للحرارة ، فمن المهم جدًا التحكم في معدل التفاعل. إذا كان التفاعل سريعًا جدًا ، فستكون درجة الحرارة المحلية أعلى من درجة انصهار السليكون ، وبالتالي في جهة واحدة ، سيتم إيقاف التفاعل الإضافي ، وفي الجانب الآخر ، سيتم تكوين الحبوب الكبيرة الحجم في المنتج. ومع استمرار التفاعل ، يصبح الأمر أكثر فأكثر صعوبة في انتشار النيتروجين ، وبالتالي لا يمكن إنهاء التفاعل تمامًا ، لذلك تكون كثافة المنتج منخفضة نسبيًا ، وعادة ما تصل إلى حوالي 90٪.
تلبد رد فعل Si2ON2 هو خلط Si ، SiO2 و CaF2 (أو عامل تشكيل زجاجي مثل CaO ، MgO) والضغط عليها في فراغ ، تحت بيئة درجة حرارة عالية ، سوف يتفاعل السيليكون مع غاز التلبيد ، و CaF2 ، CaO ، MgO سيشكل طور زجاجي مع SiO2. سوف ينتشر النيتروجين إلى زجاج منصهر وبلورة Si2ON2 سوف تنفصل من مرحلة الزجاج المشبع بالنيتروجين ، وكثافة تفاعل أكسيد السيليكون المتآكلة المتفاعلة ستكون أعلى من 90٪.
رد فعل تلبد كربيد هو غمس فارغ في السيليكون السائلة ، والحصول على المنتج النهائي.
ميزة تلبد رد الفعل هو أن البعد الفارغ لن يتغير بشكل أساسي خلال العملية ، وذلك للحفاظ على دقة البعد الإنتاج. عملية بسيطة واقتصادية ، لذلك تنطبق على الإنتاج الضخم. ومع ذلك ، هناك أيضا عيوب ، نظرا لكثافة منخفضة ، والخاصية المادية المادية ليست عالية.